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ITO靶材製備方法

更新時間:11-22 09:37閱讀量:34

在當下的數字時(shí)代,手機、電腦、電視、平板等科技消(xiāo)費產品已成為我(wǒ)們接收信息(xī)的一個重要視覺窗口。而它們的製作都離不開一種關鍵材料,那就是ITO靶材(Indium Tin Oxide,氧化銦錫)。在讀懂ITO靶材之前,我們需(xū)要了解靶材這種高科技材料。

製備方法(fǎ):

粉末冶金法(fǎ):

混合:首先,將氧化銦(In2O3)與少量的(de)氧化錫(SnO2)粉末按一定比例混合,這一(yī)比例直接決定了ITO靶材的最終電學性質。

球磨:混合後的粉末會進行球磨處理,以提高粉末的均勻性和反應活性,球磨時間和方式對粉末粒(lì)徑和形貌有著(zhe)重要影響。

壓製:經過球磨的粉末隨後會在高壓(yā)下壓製成型,成型的密(mì)度和均(jun1)勻性直接影響後續燒(shāo)結過程。

燒結:最後,將壓製(zhì)好的坯體在高溫下進行(háng)燒結(jié),高(gāo)溫燒結可(kě)以(yǐ)促使粉末顆粒之間(jiān)發(fā)生固相反(fǎn)應,形成密實的ITO塊材。

溶膠-凝膠法:

合成溶膠:選取(qǔ)合適的(de)銦鹽和錫鹽作為(wéi)原料,通過(guò)化(huà)學反應在溶劑中形成溶膠,控製反應條件可以獲得高均勻性(xìng)的(de)溶膠。

老化:將形成的溶膠進行老(lǎo)化處理,以提高其穩定性,防止在後續的熱處理過程中發生不均勻沉澱。

幹燥與熱解:經過老化的溶膠經過幹燥,去除大部(bù)分溶劑後,通過熱解除去有(yǒu)機物(wù)質,得到ITO前驅體粉末。

燒結:與粉末冶金法類似,將熱解後的粉末進行(háng)高溫燒結,得到致密的ITO靶材。


(編(biān)輯:)
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